六氟丁二烯作为干法刻蚀气体，相对于传统的全氟刻蚀气，具有环境友好，刻蚀精度高、选择性好等优点。本文对六氟丁二烯的制备、纯化及应用做了简要介绍，并对其工业化生产现状做了简单描述。

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