采用称量法，使用不同处理方式的铝合金气瓶制备微量氟化氢标准气体，对微量氟化氢制备的适用气瓶进行筛选。选用吸附性较小的气瓶，对其进行预饱和处理，考察了预饱和氟化氢样品的浓度、预报和时间和残留压力对微量氟化氢标准气体制备的影响。同时，考察了制备装置对微量氟化氢标准气体制备的影响，并研制出高重复性和灵敏度的分析方法，用于所研制标准气体的量值检验。

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